Vakuové komponenty jsou základní funkční jednotky, které tvoří vakuový systém. Jsou zodpovědní za dosažení a udržení specifického nízkotlakého prostředí v uzavřeném prostoru a podporu souvisejícího procesu. Jeho základní hodnota spočívá ve vytváření a řízení speciálních fyzikálních podmínek, které se liší od normálního tlaku.
Taková zařízení se obecně potřebují vyrovnat s přísnými požadavky prostředí s extrémně nízkou hustotou plynu. Jejich design a výrobní procesy vyžadují speciální procesní zpracování, aby se minimalizovalo uvolňování plynu ze samotného materiálu a zajistila se strukturální integrita a spolehlivost těsnění v mikroskopickém měřítku. Funkce zahrnují extrakci plynu, řízení průtoku, izolaci a separaci, vnímání tlakového stavu a směrové vedení specifické energie nebo látek ve vakuu.
Synergie mezi nimi umožňuje systému dosahovat a stabilně udržovat různé úrovně pracovních podmínek od hrubého vakua po ultra vysoké vakuum, což poskytuje nezbytnou podporu pro následné operace ve vakuovém prostředí. Jeho výkon přímo určuje čistotu, stabilitu a ovladatelnost vnitřních podmínek vakuové komory, což následně ovlivňuje přesnost a opakovatelnost různých fyzikálních nebo chemických procesů, které jsou na tomto prostředí závislé.
Výběr a konfigurace vakuových komponent je základním hlediskem pro budování účinných a spolehlivých vakuových řešení a je široce používán v průmyslových a vědeckých výzkumných oblastech s přísnou kontrolou plynového prostředí.