Typ ZP3P s podélným vyvedením vakua s vyrovnávací pamětí

Typ podélného vakuového vyvedení s vyrovnávací pamětí řady ZP3P je vodítko toku částic určené pro prostředí s vysokým vakuem. Jeho hlavní funkcí je dosáhnout účinné a stabilní extrakce podélných částicových paprsků. Zároveň optimalizuje dynamiku přenosu částic prostřednictvím integrovaných vyrovnávacích struktur, aby vyhovovaly potřebám přesných průmyslových procesů.

Hlavní technické vlastnosti
Architektura podélné vakuové extrakce
Konstrukce axiálně symetrického vakuového kanálu je přijata tak, aby zajistila, že tok částic je směrovaný podél hlavní osy zařízení, zabrání zkreslení proudového pole způsobeného boční extrakcí a udržuje integritu toku vzduchu vakuové komory.

Vestavěný mechanismus vyrovnávací paměti
Vestavěná vícestupňová dynamická vyrovnávací jednotka realizuje předregulaci vysokoenergetického toku částic prostřednictvím bezkontaktní regulace energetického gradientu, snižuje divergenci prostoru ve fázi částic a poskytuje svazek částic s lepší kolimací pro následné procesy.

Návrh kompatibility s vakuem
The entire structure meets the ultra-high vacuum (UHV) material specifications and sealing standards, and the key components are passivated on the surface to suppress the outgassing effect, ensuring long-term stable operation at a vacuum degree of 10^-5 Pa and above.

Optimalizace dynamiky přenosu
Koordinovaný design vyrovnávacího modulu a extrakčního kanálu realizuje aktivní kompresi energetického spektra částic, účinně potlačuje ztrátu rozptylu a zlepšuje kvalitu paprsku, což je zvláště vhodné pro aplikační scénáře s přísnými požadavky na monochromatičnost.

Adaptabilita průmyslového systému
Standardní rozhraní příruby podporuje modulární integraci a lze jej bez problémů připojit k různým vakuovým procesním komorám. Jeho design nemagnetizované struktury dále rozšiřuje jeho použitelnost v prostředích citlivých na magnetické pole.